產品介紹

模組化晶片貼合機 Modular Wafer Bonding System MWBS8
產品型號︰MWBS8
廠  牌︰Logitech
產品簡介︰MWBS提供從2"到8"的晶圓貼合,模組化設計。可以透過一個主機控制多達12個晶圓貼合模組,具備從研發到量產機型的擴充性。
產品規格

Machine

控制主機

擴充模組

Dimension

395(W) x 285(D) x 270(H) mm

410(W) x 700(D) x 405(H) mm

Sample Size

 

2“ to 8” wafer

模組數

 

1 – 12, 可依需求擴充

Bonding Time

15-45 min (依wafer大小與wax種類而定)

原廠網站:

Modular Wafer Bonding System MWBS8

檔案下載:

影片連結:

Logitech Modular Wafer Bonding System – 模組化晶片貼合系統

產品介紹

產品特色:

  1. 具有晶圓貼合的加工能力,每個模組可以貼合1組從2"到8"不等的晶圓。
  2. 具有擴充能力的模組化設計,可根據您的確切貼合要求量身定製完整的解決方案。
  3. 一個控制單元可以控制多達12個模組,節省實驗室空間,並允許輕鬆進行同步及個別處理。
  4. 易於操作的配方控制流程,透過圖形介面設置參數條件,包括高達240°C的貼合溫度和所需的真空度。
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