型號

GCD-051X

GCD-136X

GCD-201X

(L/min)

60

162

240

Pa

6.7×10^-2

6.7×10^-2

6.7×10^-2

Torr

5×10^-4

5×10^-4

5×10^-4

Mbar

6.7×10^-4

6.7×10^-4

6.7×10^-4

W×L×H

166 × 423 × 223

170 × 493 × 241

170 × 510 × 241

電源

1φ100V/60Hz

1φ 100V/60Hz

3φ 220V/60Hz