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平坦度量測儀 GI20

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• Logitech GI20 平坦度測量儀提供高精度平面度測量，適用於直徑達 150mm （6"）的研磨和半拋光表面。與傳統的fizeau干涉儀不同，GI20可用於測量非反射表面，使其成為在最終拋光之前對研磨表面進行檢查的理想選擇。
• 干涉圖顯示在設備前面的螢幕上。可以通過HDMI port顯示，也可以通過USB port匯出圖像以進行外部分析。干涉儀的所有功能均可通過觸控螢幕面板進行控制。
• 根據所使用的波長，標準的fizeau干涉儀通常以大約0.3μm的條紋間距工作。這通常會將平面度測量限制在高反射率材料上，由此產生的條紋之間的短距離通常會對圖像的分析產生影響。
• Logitech干涉儀透過雷射入射角從樣品表面反射來克服這些問題。這種傾斜的光束可確保監視器在反射和非反射樣品表面上顯示條紋。它還允許127mm x 150mm（5" x 6"）的大可見光圈，從而能夠準確評估直徑達150mm（6"）的樣品。
• 7" 顯示螢幕方便進行快速準確的測量，以固定的2μm間隔顯示條紋間距，產生出色的對比度水準，樣品表面粗糙度可高達300nm Ra。

應用：

• GI20平面度測量系統的應用幾乎是無限制的。無論要求是平面度測量還是品管控制，Logitech平坦度干涉儀都能在加工半導體晶圓時提供出色的解決方案。
• 顯示螢幕上的每個條紋代表樣品間隙的2um變化。凸度和凹度由手指輕按的壓力決定，可由條紋遠離間隙點（即圓度區域）或移向間隙點（即空心面積）決定凹凸形狀。