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| Jig type | 1AJ41(4”x1) or 1AJ42(6”x1) |
| Plate speed | 5-100 rpm |
| Plate size | 400mm |
| Max. Sample Size | 150mm(6”) or 100mm(4”), depending on Jig Type |
| Plate Flatness Monitor | 0.1 Micron Resolution |
| Abrasive Delivery | 2 x Peristaltic pumps : 1-100ml/min |
| Colloidal Delivery | Peristaltic pump : 1-100ml/min |
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影片連結:
Logitech Akribis-air lapping and polishing system - 晶圓精密研磨拋光介紹
Akribis-air: Intelligent Sample Preparation System –晶片拋光產品介紹
產品特色：
落地型精密研磨拋光機，最適合用於實驗室研發及小量精密樣品量產之用。應用範圍廣，不論是複合
半導體(Compound Semiconductor such as GaAs and InP)、光學材料(Optical Materials)及矽晶圓(Silicon)等
樣品均適用，最大可以拋光6”的樣品。Akribis Air為單機操作，具有彩色觸控面板控制各項參數，
並具有兩組研磨筒及一組拋光筒及可以自動控制修整盤面平整度供客戶選擇
